1. Визначення газової системи:
Зберігання та контроль тиску інертних газів Типи газів: Типові інертні гази (азот, аргон, стиснене повітря тощо)
Розмір трубопроводу: від 1/4 (моніторинговий трубопровід) до 12-дюймового основного трубопроводу
Основними продуктами системи є: мембранний клапан/сильфонний клапан/кульовий кран, з’єднувач високої чистоти (відеомагнітофон, зварювальна форма), наконечник, клапан регулювання тиску, манометр тощо.
Наразі нова система також включає в себе спеціальну газову систему, яка використовує стаціонарні газові балони або автоцистерни для зберігання та транспортування.
2. Визначення системи очищення:
Видалення домішок із масових газів для газопроводів високої чистоти
3. Визначення газових шаф:
Забезпечує контроль тиску та моніторинг витрати для спеціальних джерел газу (токсичні, легкозаймисті, реактивні, корозійні гази), а також має можливість замінити газові балони.
Розташування: Розташоване на підлозі або на нижньому поверсі для зберігання спеціальних газів. Джерело: NF3, SF6, WF6 тощо.
Розмір трубопроводу: внутрішній газопровід, як правило, 1/4 дюйма для технологічного трубопроводу, 1/4-3/8 дюйма в основному для трубопроводу продувки азотом високої чистоти.
Основна продукція: мембранні клапани високої чистоти, зворотні клапани, манометри, манометри, з’єднувачі високої чистоти (відеомагнітофон, зварювальна форма) Ці газові шафи в основному містять можливості автоматичного перемикання балонів для забезпечення безперервної подачі газу та безпечної заміни балонів.
4. Визначення розподілу:
Підключення джерела газу до змійовика збору газу
Розмір лінії: на фабриці мікросхем розмір газорозподільного трубопроводу зазвичай коливається від 1/2 дюйма до 2 дюймів.
Форма з’єднання: спеціальні газопроводи, як правило, з’єднуються за допомогою зварювання, без будь-якого механічного з’єднання чи інших рухомих частин, головним чином тому, що зварювальне з’єднання має високу надійність ущільнення.
На фабриці мікросхем є сотні кілометрів трубок, з’єднаних для передачі газу, які в основному мають довжину близько 20 футів і зварені разом. Деякі згини труб і зварювальні з’єднання труб також дуже поширені.
5. Багатофункціональна клапанна коробка (Valve Manifold Box, VMB) Визначення:
Він призначений для розподілу спеціальних газів від джерела газу до різних кінців обладнання.
Внутрішній розмір трубопроводу: технологічний трубопровід 1/4 дюйма та продувальний трубопровід 1/4–3/8 дюйма. Система може використовувати комп’ютерне керування, щоб вимагати керованих клапанів або дешевші ситуації з ручними клапанами.
Системні продукти: мембранні клапани/сильфонні клапани високої чистоти, зворотні клапани, з’єднання високої чистоти (VCR, форма з мікрозварюванням), клапани регулювання тиску, манометри та манометри тощо. Для розподілу деяких інертних газів, панель клапанного колектора - В основному використовується ВМП (багатофункціональний клапанний диск), який має відкриту поверхню газового диска і не вимагає конструкції закритого простору та додаткової продувки азотом.
6. Пластина вторинного клапана/коробка (панель підключення інструменту) Визначення:
Підключіть газ, необхідний для напівпровідникового обладнання, від джерела газу до кінця обладнання та забезпечте відповідне регулювання тиску. Ця панель є системою контролю газу, яка знаходиться ближче до кінця обладнання, ніж VMB (багатофункціональна клапанна коробка).
Діаметр газопроводу: 1/4 - 3/8 дюйма
Розмір трубопроводу рідини: 1/2 - 1 дюйм
Розмір напірного трубопроводу: 1/2 - 1 дюйм
Основна продукція: мембранний клапан/сильфонний клапан, односторонній клапан, клапан регулювання тиску, манометр, манометр, з’єднання високої чистоти (VCR, мікрозварювання), наконечник, кульовий кран, шланг тощо.
Час публікації: 22 листопада 2024 р