1. Визначення системи газопостачання:
Зберігання та контроль тиску інертних газів. Типи газів: Типові інертні гази (азот, аргон, стиснене повітря тощо).
Розмір трубопроводу: від 1/4 дюйма (трубопровід моніторингу) до 12-дюймового головного трубопроводу
Основними продуктами системи є: діафрагмовий клапан/сильфонний клапан/кульовий клапан, високочистий з'єднувач (VCR, зварювальний), з'єднувач з наконечником, клапан регулювання тиску, манометр тощо.
Наразі нова система також включає систему спеціального газу наливом, яка використовує стаціонарні газові балони або автоцистерни для зберігання та транспортування.
2. Визначення системи очищення:
Видалення домішок з газів насипом для високочистих газопроводів
3. Визначення газових шаф:
Забезпечувати контроль тиску та моніторинг потоку для спеціальних джерел газу (токсичних, легкозаймистих, реакційноздатних, корозійних газів), а також мати можливість замінювати газові балони.
Розташування: Розташоване на підповерху або нижньому поверсі для зберігання спеціальних газів Джерело: NF3, SF6, WF6 тощо.
Розмір трубопроводу: внутрішній газопровід, зазвичай 1/4 дюйма для технологічного трубопроводу, 1/4-3/8 дюйма, головним чином для трубопроводу продувки азотом високої чистоти.
Основна продукція: високочисті діафрагмові клапани, зворотні клапани, манометри, з'єднувачі високої чистоти (VCR, зварювальні форми). Ці газові шафи в основному містять функції автоматичного перемикання балонів для забезпечення безперервної подачі газу та безпечної заміни балонів.
4. Визначення розподілу:
Підключення джерела газу до газозбірної котушки
Розмір лінії: На заводі з виробництва чіпсів розмір трубопроводу розподілу газу зазвичай коливається від 1/2 дюйма до 2 дюймів.
Форма з'єднання: Спеціальні газопроводи зазвичай з'єднуються зварюванням, без будь-яких механічних з'єднань або інших рухомих частин, головним чином тому, що зварювальне з'єднання має високу надійність герметизації.
На заводі з виробництва мікросхем сотні кілометрів труб, з'єднаних для передачі газу, які мають довжину близько 6 метрів і зварені разом. Також дуже поширені деякі вигини труб і трубчасті зварні з'єднання.
5. Визначення багатофункціональної клапанної коробки (клапанної розподільчої коробки, VMB):
Це розподіляє спеціальні гази від джерела газу до різних кінців обладнання.
Розмір внутрішнього трубопроводу: технологічний трубопровід 1/4 дюйма та продувний трубопровід 1/4 - 3/8 дюйма. Система може використовувати комп'ютерне керування, щоб вимагати використання приводних клапанів або менш витратних ситуацій з ручними клапанами.
Системні продукти: високочисті діафрагмові клапани/сильфонні клапани, зворотні клапани, високочисті з'єднання (VCR, мікрозварювальна форма), регулювальні клапани тиску, манометри та манометри тощо. Для розподілу деяких інертних газів переважно використовується панель клапанного колектора - VMP (багатофункціональний диск клапана), яка має відкриту поверхню газового диска та не потребує конструкції замкнутого простору та додаткового продувування азотом.
6. Визначення вторинної клапанної пластини/коробки (панель підключення інструментів):
Підключіть газ, необхідний для напівпровідникового обладнання, від джерела газу до кінця обладнання та забезпечте відповідне регулювання тиску. Ця панель є системою керування газом, яка розташована ближче до кінця обладнання, ніж VMB (багатофункціональний клапанний блок).
Розмір газопроводу: 1/4 - 3/8 дюйма
Розмір рідинного трубопроводу: 1/2 - 1 дюйм
Розмір напірного трубопроводу: 1/2 - 1 дюйм
Основна продукція: діафрагмовий клапан/сильфонний клапан, односторонній клапан, регулювальний клапан тиску, манометр, манометр, високочисте з'єднання (VCR, мікрозварювання), втулкове з'єднання, кульовий клапан, шланг тощо.
Час публікації: 22 листопада 2024 р.