As напівпровідникі мікроелектронні технології розвиваються в напрямку вищої продуктивності та вищої інтеграції, вищі вимоги висуваються до чистоти електронних спеціальних газів. Технологія газопроводів високої чистоти є важливою частиною системи постачання газу високої чистоти. Це ключова технологія для доставки газів високої чистоти, які відповідають вимогам до пунктів використання газу, зберігаючи при цьому відповідну якість.
Технологія високочистих трубопроводів включає правильний проект системи, вибір трубопровідної арматури та допоміжних матеріалів, будівництво, монтаж і випробування.
01Загальна концепція газотранспортних трубопроводів
Усі високочисті гази необхідно транспортувати до кінцевої газової точки по трубопроводах. Для того, щоб відповідати вимогам якості процесу для газу, коли індекс експорту газу визначений, необхідно більше приділяти увагу вибору матеріалу та якості конструкції системи трубопроводів. Крім точності обладнання для виробництва або очищення газу, на нього значною мірою впливає багато факторів системи трубопроводів. Тому при виборі труб необхідно дотримуватися відповідних принципів очисної промисловості та вказувати матеріал труб на кресленнях.
02Значення газопроводів високої чистоти в транспортуванні газу
Значення трубопроводів високої чистоти для транспортування газу високої чистоти Під час процесу плавлення нержавіючої сталі кожна тонна може поглинути близько 200 г газу. Після обробки нержавіючої сталі не тільки різні забруднюючі речовини застряють на її поверхні, але й певна кількість газу поглинається її металевою решіткою. Коли через трубопровід проходить повітряний потік, частина газу, поглинена металом, знову потраплятиме в повітряний потік і забруднює чистий газ.
Коли потік повітря в трубі переривчастий, труба утворює адсорбцію тиску на газ, що проходить. Коли потік повітря припиняє проходити, газ, адсорбований трубою, утворює аналіз зниження тиску, і аналізований газ також потрапляє в чистий газ у трубі як домішка.
У той же час цикл адсорбції та аналізу призведе до того, що метал на внутрішній поверхні труби утворить певну кількість порошку. Ця частинка металевого пилу також забруднює чистий газ у трубі. Ця характеристика труби дуже важлива. Для забезпечення чистоти газу, що транспортується, потрібна не тільки надзвичайно висока гладкість внутрішньої поверхні труби, але й висока зносостійкість.
Якщо газ має сильні корозійні властивості, для трубопроводів слід використовувати корозійностійкі труби з нержавіючої сталі. Інакше через корозії на внутрішній поверхні труби з’являться плями корозії. У важких випадках великі шматки металу відшаровуються або навіть перфорують, забруднюючи таким чином чистий газ, що транспортується.
03 Матеріал труби
Вибір матеріалу труби необхідно вибирати відповідно до потреб використання. Якість труби зазвичай вимірюється відповідно до шорсткості внутрішньої поверхні труби. Чим менша шорсткість, тим менша ймовірність перенесення частинок. Взагалі поділяють на три види:
Один єТруба EP 316L, який пройшов електролітичне полірування (Electro-Polish). Він стійкий до корозії та має низьку шорсткість поверхні. Rmax (максимальна висота від піку до западини) становить близько 0,3 мкм або менше. Він має найвищу площинність і нелегко формувати мікровихрові струми. Видалити забруднені частинки. Реакційний газ, який використовується в процесі, повинен проходити на цьому рівні.
Один - це aСорт BA 316Lтруба, яка була оброблена Bright Anneal і часто використовується для газів, які контактують з мікросхемою, але не беруть участі в реакції процесу, наприклад GN2 і CDA. Однією з них є труба AP (відпал і збирання), яка спеціально не обробляється і зазвичай використовується для подвійних комплектів зовнішніх труб, які не використовуються як лінії подачі газу.
04 Будівництво трубопроводів
Обробка гирла труби є одним з ключових моментів даної технології будівництва. Різання та збірка трубопроводу виконується в чистому середовищі, і в той же час забезпечується відсутність шкідливих слідів або пошкоджень на поверхні трубопроводу перед різанням. Підготовка до промивання азотом в трубопроводі повинна бути виконана перед відкриттям трубопроводу. В принципі, зварювання використовується для з'єднання транспортних і розподільних газопроводів високої чистоти і великої витрати, але пряме зварювання не допускається. Слід використовувати обсадні з’єднання, а матеріал труби не повинен змінювати структуру під час зварювання. Якщо зварювати матеріал із занадто високим вмістом вуглецю, повітропроникність зварювальної частини спричинить проникнення газу всередину та зовні труби один в одного, руйнуючи чистоту, сухість і чистоту газу, що транспортує, що призведе до серйозних наслідків і впливають на якість виробництва.
Таким чином, для високочистого газу та спеціальних газотранспортних трубопроводів необхідно використовувати спеціально оброблену трубу з нержавіючої сталі високої чистоти, завдяки чому система трубопроводу високої чистоти (включаючи трубопроводи, трубопровідну арматуру, клапани, VMB, VMP) займає життєво важлива місія у розподілі газу високої чистоти.
Час публікації: 26 листопада 2024 р