As напівпровідникта мікроелектронні технології розвиваються в напрямку підвищення продуктивності та вищої інтеграції, що призводить до вищих вимог до чистоти спеціальних електронних газів. Технологія високочистих газопроводів є важливою частиною системи постачання високочистого газу. Це ключова технологія для доставки високочистих газів, які відповідають вимогам, до точок споживання газу, зберігаючи при цьому належну якість.
Технологія трубопроводів високої чистоти включає правильне проектування системи, вибір трубопровідної арматури та допоміжних матеріалів, будівництво, монтаж та випробування.
01Загальна концепція газотранспортних трубопроводів
Усі гази високої чистоти та високої чистоти необхідно транспортувати до кінцевого пункту газопостачання трубопроводами. Для задоволення вимог до якості процесу газопостачання, коли індекс експорту газу визначений, необхідно звернути більше уваги на вибір матеріалів та якість будівництва трубопровідної системи. Окрім точності обладнання для виробництва або очищення газу, на неї значною мірою впливає багато факторів трубопровідної системи. Тому вибір труб повинен відповідати відповідним принципам галузі очищення та маркувати матеріал труб на кресленнях.
02Значення високочистих трубопроводів у транспортуванні газу
Значення високочистих трубопроводів для транспортування високочистого газу. Під час процесу плавки нержавіючої сталі кожна тонна може поглинути близько 200 г газу. Після обробки нержавіючої сталі на її поверхні не тільки затримуються різні забруднювачі, але й певна кількість газу поглинається її металевою решіткою. Коли через трубопровід проходить повітряний потік, частина газу, поглинена металом, знову потрапляє в повітряний потік і забруднює чистий газ.
Коли потік повітря в трубі переривчастий, в трубі утворюється адсорбційний тиск на газ, що проходить через неї. Коли потік повітря припиняється, газ, адсорбований трубою, утворює зниження тиску, і аналізований газ також потрапляє в чистий газ у трубі як домішка.
Водночас, цикл адсорбції та аналізу призводить до утворення певної кількості порошку на внутрішній поверхні труби. Ці частинки металевого пилу також забруднюють чистий газ у трубі. Ця характеристика труби дуже важлива. Для забезпечення чистоти газу, що транспортується, внутрішня поверхня труби повинна мати не лише надзвичайно високу гладкість, але й високу зносостійкість.
Якщо газ має сильні корозійні властивості, для трубопроводів необхідно використовувати корозійностійкі труби з нержавіючої сталі. В іншому випадку на внутрішній поверхні труби внаслідок корозії з'являться плями корозії. У важких випадках великі шматки металу відшаровуватимуться або навіть проколються, тим самим забруднюючи чистий газ, що транспортується.
03Матеріал труби
Вибір матеріалу для труби необхідно здійснювати відповідно до потреб використання. Якість труби зазвичай вимірюється шорсткістю внутрішньої поверхні труби. Чим нижча шорсткість, тим менша ймовірність потрапляння частинок. Зазвичай труби поділяються на три типи:
Один з нихТруба марки 316L з високим ступенем захисту від вітру, який був електролітично полірований (електрополірування). Він стійкий до корозії та має низьку шорсткість поверхні. Rmax (максимальна висота від піку до западини) становить близько 0,3 мкм або менше. Він має найвищу площинність і не схильний до утворення мікровихрових струмів. Видаліть забруднені частинки. Реакційний газ, що використовується в процесі, слід подавати трубопроводом на цьому рівні.
Один єBA марки 316Lтруба, оброблена методом яскравого відпалу та часто використовується для газів, що контактують зі стружкою, але не беруть участі в реакції процесу, таких як GN2 та CDA. Одна з них - труба AP (відпал та вилучення), яка не піддається спеціальній обробці та зазвичай використовується для подвійних комплектів зовнішніх труб, що не використовуються як газопроводів.
04 Будівництво трубопроводів
Обробка гирла труби є одним з ключових моментів цієї будівельної технології. Різання та попереднє виготовлення трубопроводу виконуються в чистому середовищі, і водночас гарантується відсутність шкідливих слідів або пошкоджень на поверхні трубопроводу перед різанням. Підготовку до продувки азотом слід провести перед відкриттям трубопроводу. В принципі, зварювання використовується для з'єднання високочистих та високочистих газопроводів для передачі та розподілу газу з великим потоком, але пряме зварювання не допускається. Слід використовувати обсадні з'єднання, а матеріал труб не повинен змінювати свою структуру під час зварювання. Якщо зварювати матеріал із занадто високим вмістом вуглецю, повітропроникність зварювальної деталі призведе до проникнення газу всередині та зовні труби один в одного, руйнуючи чистоту, сухість та чистоту транспортного газу, що призведе до серйозних наслідків та вплине на якість продукції.
Підсумовуючи, для газопроводів високої чистоти та спеціальних газопроводів необхідно використовувати спеціально оброблену трубу з нержавіючої сталі високої чистоти, що робить систему трубопроводів високої чистоти (включаючи трубопроводи, трубопровідну арматуру, клапани, VMB, VMP) життєво важливою для розподілу газу високої чистоти.
Час публікації: 26 листопада 2024 р.